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Products製品情報

厚膜ソリューション

超厚膜銅印刷基板(TPC)

スクリーン印刷法を用いて簡便に銅膜を積層することができ、印刷パターンを工夫することで、段差形成も可能です。
各種セラミックス基板との信頼性においてはAMB基板と同等程度の性能を有します。

特長

  • 最大膜厚:0.8mmt;最小パターン間隔:0.3mm
  • 窒化ケイ素、窒化アルミニウム、サファイヤ、アルミナ等に対応可能です。
  • AMB基板同等の信頼性を有します。

基板構成

構成図

①活性金属接合層
②銅層

断面画像

活性金属ペーストを接合層に用いた銅ペースト超厚膜(300μm)焼成基板接合面の断面SEM画像

仕様

 項目    参考規格 備考
基材 材質 窒化アルミ(AlN)、アルミナ(Al2O3)、窒化ケイ素(SiN) その他の材質はご相談ください
サイズ 50~114mm□  -
厚み 0.2mm~  -
導体物性 L/S ≧200/200μ  -
膜厚 100~500μ 500μ以上はご相談ください
比抵抗 2.5~4.0μΩ㎝  -
メッキ前密着性 ≧3.0kgf/2mm□ ピール試験により測定 
メッキ後密着性 ≧2.5kgf/2mm□
メッキ後耐久性   Al2O3:熱衝撃試験 2000cycle以上の耐久 1cycle:-45℃(30min)⇔120℃(30min)
AlN:熱衝撃試験 1500cycle以上の耐久 1cycle:-45℃(30min)⇔120℃(30min)
SiN:熱衝撃試験 3000cycle以上の耐久 1cycle:-45℃(30min)⇔150℃(30min)


想定用途

  • パワーデバイス用セラミックス放熱回路パッケージ